
时公司尚未实现量产的设备主要包括明场纳米图形晶圆缺陷检测设备、暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备和光学关键尺寸量测设备。 数据来源:公司公告、界面新闻研究部 多年跟踪半导体设备的分析师关悦告诉界面新闻记者,纳米图形晶圆缺陷检测设备中的“纳米”一般是指90nm以下工艺制程,其中,又以明场纳米图形晶圆缺陷检测设备作为半导体检测设备的“皇冠”,技术难度最大,市场价值也最高,在整个量检测设备的市场价值量占比
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发布时间:01:23:59
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